供氣系統的選擇

1.  簡(jiǎn)單供氣系統 
簡(jiǎn)單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠(chǎng)、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。

2. 由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統，有些甚至用單瓶系統。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統。簡(jiǎn)單供氣系統通常存在安全隱患。

2. 常規供氣系統 
常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠(chǎng)，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現自動(dòng)切換，自動(dòng)氮氣吹掃，自動(dòng)真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專(zhuān)用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮氣吹掃；支路氣動(dòng)閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統根據氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。